IN由液态Sn靶在激光作用下产生极紫外(EUV)光的激光等离子体(LPP)光源,对于纳米光刻至关重要,其远小于DUV光的波长,为实现集成电路的进一步缩放提供了基础。在此过程中,除了产生13.5nm附近(带内,in-band)的特征辐射以外,还会产生诸如VUV, DUV波段的带外(OOB, out-of-band)辐射。大多数的研究聚焦在带内及其附近波段,然而OOB波段的相对(或绝对)强度也十分重要
2024-10-18 Cavan
“HACKATHON”联想 | 发现 | 观察| 提问| 实践- 第一届 -2024.09.182024年9月18日众星联恒第一届“Hackathon”活动圆满收官,此次活动旨在让所有同事们勇敢地迈出思维的步伐,畅所欲言,促进我们内在的自我驱动,尽情挥洒自己的创意与想象,无拘无束地展现那天马行空般的独特见解,放任自己仿佛回到那曾经无知却又无畏的孩童和少年时代。我们动员全公司的成员参与到此次活动当中
2024-10-18 Cavan
•FIRST•【特邀报告】XAFS学术研讨会在复旦大学顺利召开由众星联恒、复旦大学和HP Spectroscopy GmbH三方携手举办的【XAFS学术研讨会】在复旦大学化学院顺利召开,会议特邀了来自TU Berlin(德国柏林工业大学)光学与原子物理学研究所的Christopher Schlesiger博士,和广大学者、老师和同学就XAFS的发展历史及现状、XAFS的前沿应用以及hiXAS精细吸
2024-10-18 Cavan
X射线吸收精细结构谱学(XAFS)是一种重要的材料表征方法,通过X射线吸收、荧光发射等可以获得材料的元素种类、价态及配位结构等组成结构信息。早期的高分辨X射线吸收精细结构谱(HR-XAFS)测试主要依赖于单色性好、亮度高、连续能量可调的同步辐射光源,这极大地限制了XAFS在各领域的广泛应用。近年来,随着实验室X射线光源、高质量弯晶及X射线探测器等X射线核心元器件的发展,基于罗兰圆几何、非扫描von
2024-08-02 Cavan
第十五届全国X射线衍射与新材料学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会2024年7月30日,由中国物理学会X射线衍射专业委员会、中国晶体学会粉末衍射专业委员会和国际衍射数据中心等单位共同主办的第十五届全国X射线衍射与新材料学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会正式落下帷幕,来自各地的X射线衍射与材料研究领域精英学者齐聚一堂,见证了会议主题下X射线衍射与材料分析现有的最新突破,促进了关于X
2024-08-02 Cavan
PREVIEW点击蓝字 关注我们夏2024会议介绍丹佛 X 射线会议 (DXC) 从最初在丹佛大学校园内只有 35 名与会者,到如今成为国内外公认的年度盛会,DXC 作为包含 X 射线荧光和衍射在内的一般 X 射线分析领域领先的年度论坛,今年将迎来它的第 73 周年。作为世界上最大的 X 射线会议,与会者可以参加有关 XRD 和 XRF 最新进展的会议。由专家主持,就 X 射线荧光和 X 射线衍
2024-07-31 Cavan
点击蓝字 关注我们在全球化与科技加速革新的时代,X射线技术作为科技领域的重要组成部分,正以其独特的优势和广泛的应用场景,在多个行业中发挥着日益显著的作用。自成立以来,众星联恒便专注于X射线/EUV核心部件领域,我们始终坚守创新精神和技术驱动的核心价值观,积极应对市场挑战,紧跟全球经济脉搏,努力在激烈的竞争环境中保持领先地位,促进科技与经济的有机融合。跨界对话,融合创新基于这一愿景,我们开启了一场意
2024-07-31 Cavan
点击蓝字 关注我们极紫外(EUV)辐射是10-100 nm波长范围的电磁辐射。相较于深紫外(DUV)波段的光学光刻,EUV光刻具有更短的曝光波长,可以获得更高分辨率的光刻图案。基于液态锡(Sn)的等离子体源是目前EUV光刻普遍使用的光源,通过放电(DPP)或高功率的CO2激光作用(LPP)产生等离子体,可以发射峰值波长为13.5 nm的EUV辐射。然而,在等离子体发射的过程中,频谱不仅包含了光刻
2024-07-31 Cavan