新一代XSight透镜耦合相机：250nm空间分辨引领科研突破之路

1）紧凑坚固的设计，防止散射X射线干扰

XSight相机具有紧凑坚固的机身，可以防止散射的x射线直接击中传感器，从而产生噪音。

2）可更换镜头单元 ，实现250 nm-6 μm空间分辨

XSight相机机身最多可以使用五个XSight Micron LC Lens Unit镜头单元，每个镜头单元都具备特定的视场和分辨率，可以通过卡口实现快速更换。使得XSight相机能够实现250 nm至6 μm的真实空间分辨率（实测图如下）。

3）安装和操作简便

一体化设计，易于安装和操作。相机可使用相机机身底部的 M6 螺纹轻松安装至用户平台，无需额外的电子设备箱或水冷却器，只需将USB3.0数据线插入计算机即可开始拍摄图像！并且提供简单易操作的软件，集成多种基本应用。

4）可提供真空版本，光谱范围可扩展到EUV能段

倾斜刃边法（Slanted Edge Method）是一种常用的相机空间分辨率测量方法，主要用于评估成像系统的空间分辨能力。测试过程如下：首先，使用相机照射一个锐利的边缘目标，如金属，通过捕获的图像获得边缘扩展函数（ESF），进而计算线扩展函数（LSF）和调制传递函数（MTF）。LSF的半高全宽（FWHM）即为该相机当前的空间分辨率。由于测量的目标是相机的分辨率，因此需要尽量排除X射线源和系统结构对结果的影响。如下图：

因为射线源始终存在焦斑宽度a，导致物点在成像面上的投影为一个拓展斑，成像分辨率下降，因此应该选用尽量小焦斑的X射线源，如微焦点X射线源，并且将刀边样品尽量贴近相机，使系统放大倍率为1，并倾斜于相机像素放置，用相机拍摄刀边的图像，确保边缘清晰可见。如下图：

选择视场中心位置进行计算ESF，方法为在所选位置绘制一条垂直或水平的剖面线，并根据该线提取对应的灰度值，生成灰度剖面曲线，构建ESF函数，以表示系统对边缘的响应。

接下来，对ESF函数进行微分，可以得到线扩展函数（LSF）。接着对LSF进行洛伦兹拟合，即可计算出半高全宽（FWHM），这便是相机的空间分辨率。如果进一步对LSF进行傅里叶变换，就可以得到该相机对空间频率的响应，即MTF。如下图：

使用分辨率测试卡测试相机分辨率是一种更为直接的方法，优势在于操作简单，可直观地评估分辨率，观察相机得到的图像能清晰分辨测试卡上的线对。但测试卡有一个明确定义的结构分布，只能评估测试卡上所列的图案尺寸。

需要注意的是与倾斜刃边法相同，需要使用微焦点X射线源，并且将分辨率测试卡放置在源和相机之间，并贴近相机。然后将三者对齐，保持需要成像的图案位于相机靶面中心，设定相机的曝光参数并进行X射线照射，获取图像后分析测试卡上的线条或图案。

分辨率测试卡与光路图如下:

使用分辨率测试卡对XSight Micron LC 0540 sCMOS相机（老款）进行实测，相机分辨率为0.8 μm，其实测图与线剖面图如下：

Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (下简称“RITE”)于2008年在捷克首都布拉格成立 ，配有多个专业的X射线实验室，RITE前身却在业内有着超过50年的发展历史。团队创始成员来自捷克科学院和捷克理工大学，参与了多项（原）捷克斯洛伐克空间探测项目，是目前捷克X射线光学领域的领先研究学者。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，RITE秉承着开放合作的理念，向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型 EUV/X-RAY光学镜片和高分辨X射线相机等。

北京众星联恒科技有限公司作为捷克RITE公司中国区授权总代理商，为中国客户提供RITE所有产品的售前咨询，销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的EUV、X射线产品及解决方案。如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。

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