谁将引领C形臂光机探测器技术的未来?
随着图像增强器管生产工厂的关闭和对高端功能(如3D成像)需求的增加,动态成像 X 射线市场不再使用 II-CCD RIU,而是采用 FPD。这一趋势意味着系统制造商已经开始探索替代技术,并出现了三种主要的平板探测器技术。它们是非晶硅(a-Si)、氧化铟镓锌(IGZO)和互补金属氧化物半导体(CMOS)。
那么哪一类技术会在 C 型臂市场中脱颖而出呢?让我们来探讨一下他们各自的优势和不足。
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a-Si
a-Si 是一种非晶态的硅,用于太阳能电池和平板液晶显示器(LCD)和电视的薄膜晶体管(TFT)。 在过去的二十年里,非晶硅 FPD 已经成为医疗和工业 X 射线成像的主流产品。非晶硅 FPD 既可用于静态也可用于动态,但其最大的应用是静态普通放射成像,例如用于诊断骨科成像和胸部 X 光。
a-Si的优势:
a - Si 是用于显示器的一项关键技术,它在晶圆厂 这种大型工厂中大量生产。最新的 10.5 代非晶硅显示器工厂使用超大尺寸的 2940 x 3370 mm 玻璃基板,而大多数 CMOS 晶圆厂生产直径为 200 或 300 mm 的硅片。非晶硅 FPD 受益于显示器行业的规模经济,非晶硅 FPD 中使用的图像传感器主要在亚洲的大型晶圆厂制造,有时使用的是在生产高端显示器方面不再具有竞争力的旧晶圆厂。这使得非晶硅成为一种高性价比的选择,特别对于较大的尺寸,如用于胸部 X 光的 430 X 430 mm探测器。它们也比 IIs 更适合高剂量曝光,因为它们的饱和剂量高。
a-Si 的不足:
a-Si 在低剂量曝光时表现不佳,因为它的读取噪声相对较高,而且其像素读取速度比 II 或 CMOS 慢。由于其读取速度较慢,非晶硅不能支持较小的像素,如 100 μm的高帧率动态成像。这限制了它同时实现动态成像的快速读出和某些透视应用(如人工耳蜗植入)所需的高分辨率的能力。 对于 C 型臂主要用于的动态应用,这些限制因素意味着无法实现最佳速度和分辨率。即使有更大的像素尺寸,当前一代非晶硅 FPD 的性能也受到非晶硅薄膜晶体管(TFT)的限制。由于非晶硅的电子迁移率低,需要使用大型 TFT(具有较大的寄生电容),这导致了电子噪声的增加。非晶硅 FPD 的电子噪声很高,足以对低剂量透视的图像质量产生重大影响。
a-Si 的最大问题是电子噪声相对较高,无法与 IIs 和 CMOS X 射线探测器的低噪声相提并论,导致临床医生和患者在低剂量透视检查中的辐射剂量增加。使用 C 型臂的临床医生的辐照是一个严重的问题。《美国 x 光学杂志》上的一项研究指出:“我们观察到,在进行透视引导介入手术的技术员中,脑癌、乳腺癌和黑色素瘤的风险升高了 ”。减少临床医生和病人的辐照露是 C 型臂制造商的一个重要目标。
非晶硅也有明显的图像滞后,这在透视和三维 CT成像中是不可取的。这个问题可以通过实时图像校正算法来缓解。
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IGZO
铟镓锌氧化物(IGZO)平板探测器是外科 C 型臂的另一个潜在选择。大约 15 年前,IGZO 薄膜晶体管(TFTs)在显示器行业中被开发出来,以实现更高频率的显示。
IGZO的优势:
IGZO TFT 的电子迁移率比 a-Si 高出 10 倍,这有利于减小 TFT 的尺寸,同时也缩短了像素放电时间。这就提高了探测器的读出速度。在像素间距约为 100 μm的动态探测器中,提高读出速度对实现足够的帧率尤为重要。由于 IGZO TFTs 可以做得比 a-Si TFTs 更小,因而可以显著改善转换性能。因此,像素变得更加敏感,可以提供更快的读出,探测器的分辨率也可以提高。一方面,IGZO 探测器介于高剂量 a-Si 和低剂量 CMOS 探测器之间,另一方面,当用于低剂量透视时,其介于高剂量 a-Si 和 IIs 之间。与 a- Si 相比,它们可以在同等或更低的 x 射线剂量下获得可用的图像,它们可以以更高的帧率和更高的分辨率运行,但比 CMOS 探测器慢。
IGZO 的不足:
就性能而言,IGZO 探测器不如 CMOS 探测器好,但价格更低。这使它们成为 IIs 和 a-Si 探测器的一个很好的替代品。然而,基于 IGZO 技术的 FPD 在很大程度上处于起步阶段,这个这种新技术需要证明它能够实现所提出的要求,并在 x 射线辐射下及时可靠。与a-Si 相比,IGZO 对 X 射线的耐受性更低,因此不适合用于工业射线成像。目前还不知道IGZO产品在外科 C 型臂应用中的寿命是多少,但这是一个值得关注的问题。
Yole Development 公司在 2019 年的一份研究报告中指出,“长期以来,IGZO 一直被视为一种高性能/低成本的 TFT 技术,但一个关键问题是供应链准备不足”。虽然,许多显示器制造商已经开始推出用于 X 射线探测的 IGZO 平板,但 IGZO 并不像非晶硅和 CMOS 那样在 X 射线成像方面具有足够的生产成熟度和可靠性。
IGZO 在传感器中通常有一些图像延时,但比 a-Si 好。在透视和三维 CT 成像中,图像延迟是不可取的。
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CMOS
CMOS 是当今大多数计算机微芯片和图像传感器中使用的半导体技术。CMOS 图像传感器(CIS)被用于手机相机、紧凑型相机、摄像机和众多相机应用。
用于 C 型臂的 CMOS 平板探测器于 2009 年由英国 Dexela(随后被美国 PerkinElmer Inc 收购)首次推出,并于次年引入微型 C 型臂。2017 年,随着 Ziehm Imaging 和 GE Healthcare 推出 CMOS 产品,CMOS 首次被用于全尺寸 C 型臂。该技术在动态 X 射线成像市场上实现了强劲的增长,在发达经济体中占据了接近 100% 的微型 C 型臂市场和大部分全尺寸 C 型臂市场。在 C 型臂市场,尤其是在发展中国家,IIs 上仍然发挥着重要作用。
CMOS 的优势:
由于非晶硅中的电荷迁移率更高得多,以及 CMOS APS 结构,CMOS FPD 比非晶硅和 IGZO 具有更高的读出速度和更低的噪声。通过降低本底噪声,显著提高了低剂量 DQE,即使在非常低的剂量水平下也能实现 X 射线检测。CMOS FPDs 能够同时产生更好的分辨率和更好的衬度,以获得最高的诊断图像质量。
因此,与 a- Si 探测器相比,在低剂量透视检查中,病人和临床医生的辐射剂量都会降低。
CMOS 图像传感器技术还允许多种增益模式,从而为高剂量和低剂量的应用提供不同的操作模式,如三维 CT 成像(高剂量)和低剂量透视检查。虽然将X射线光子转换为可见光的确有一些时间延迟,但 CMOS 图像传感器本身几乎没有图像延迟。
CMOS 的不足:
虽然 CMOS 探测器具有最佳的性能特征(包括分辨率、速度和低剂量图像质量),但 CMOS 传感器的成本导致大面积平板的成本较高,例如 310 mm2。这是因为与非晶硅或 IGZO 图像传感器相比,CMOS 晶圆的成本相对较高。
尽管 CMOS 图像传感器容易受到 X 射线的辐射损伤,但 C型 臂中使用的 CMOS X 射线探测器受到光纤板(FOP)的保护,这增加了额外的成本,但提高了图像质量和产品寿命。
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总 结
Conclusion
正如我们在下表中看到的那样,CMOS 在 C 型臂市场上取代 IIs 的竞争中具有显著的优势,是高性能系统的明显赢家,而 IGZO 和 a-Si 在价值系统中具有成本优势。(***=同类最佳)
Reference
1. In the last 6 years we have witnessed ON Semiconductor, formerly Kodak closing one of its CCD factories, prior to that Sony’s CCD operations were also shut down. Argus Imaging and Thales have also stopped manufacturing image intensifiers.
2. ‘Analysis of a new indium gallium zinc oxide (IGZO) detector’, Steven Freestone, Richard Weisfield, Carlo Tognina, Isaias Job, Richard E. Colbeth.
3. Rajaraman, P. et al. (2016) ‘Cancer Risks in U.S. Radiologic Technologists Working With Fluoroscopically Guided Interventional Procedures, 1994-2008’, AJR. American journal of roentgenology, 206(5), pp. 1101–1108; quiz 1109. doi:10.2214/AJR.15.15265.
4. ‘Mobile C-Arm with a CMOS Detector: Technical Assessment of Fluoroscopy and Cone-Beam CT Imaging Performance’, Niral M. Sheth, Wojciech Zbijewski, Matthew W. Jacobson, Godwin Abiola, Gerhard Kleinszig, Sebastian Vogt, Stefan Soellradl, Jens Bialkowski, William S. Anderson, Clifford R. Weiss, Greg M. Osgood, and Jeffrey H. Siewerdsen.
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