X射线分辨率测试卡是测量成像系统成像质量的重要工具,我司可提供各种类型的测试卡以满足您的各种需求。图案类型包括线对、孔阵列和西门子星等。最小图案尺寸低至20nm,面对高能的高分辨X射线应用,我们可以提供厚达3微米的金吸收体,以满足高能高分辨成像系统的测试需求。
同时我们还可以提供用:
于纳米CT体素校准的模体- Voxel-spirit 可实现快速和直观的体素大小校准,Voxel-spirit 甚至可以满足严格的视场 (FOV) 限制和高精度要求 。
遵从ASTM E1695-95的Resolution-spirit 通用模体组,适用于纳米CT和微米CT的空间分辨精密评估。它适用于可变市场限制及高精度的需求。
带有用于 nanoCT 和 microCT 测量的基准标记的样品架-R1-Shadow,可以快速直观地校正旋转台的不准确性和 CT 数据配准,适用于双能量 CT 或 4D CT 等应用。 R1-Shadow 是一种多用途解决方案,适合可变视场 (FOV) 限制和高精度要求。
类型 | 图案布局 | 图案规格 | 吸收体类型及厚度 |
纳米分辨率测卡XRESRO-20 | ①Radial Pattern ③④Hole Pattern⑤⑥⑦⑧L&S Pattern 100nm hole 50nm L&S 20nm Radial patterns | Ta 100nm | |
纳米分辨率测卡XRESRO-50HC | 100nm hole 50nm L&S 50nm Radial patterns | Ta 500nm | |
纳米分辨率测卡XRESRO-100 | 100nm L&S 200nm L&S 400nm L&S 600nm L&S 800nm L&S 100nm Radial patterns | Ta 1000nm | |
3D西门子星分辨测试卡 | 最小细节小于200nm | 结构高度200µm 尺寸Fhi 100µm | |
显微CT分辨测试卡 | 布局由嵌套的L形组成,线宽为: 50 –40 –30 –20 –15 –10 –9 –8 –7 -6 -5 –4 –3 -2 –1.5 -1 –0.9 -0.8 -0.7 –0.6 -0.5 –0.4 –0.35 –0.3 –0.25 –0.2 (微米) | 约1.5µm米厚金 | |
Yxlon标准分辨率测试卡 | 5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 µm线对 | 3 µm高金 | |
方孔/狭缝图案多功能分辨率测试卡 | 外部尺寸: 1 x 1 cm² 包括 23 个方形开口(红色方框A内,5x5 µm² ~ 1000x1000 µm²) 以及左上角的两个矩形狭缝结构(红色方框B内) 基底: 2.5 µm Ti (如有需要,可去除部分) | 厚度25 µm 金 | |
NanoXSpot分辨率测试卡 | 4象限区域,每个区域4 mm x 4 mm,含两个改良的西门子星,孔阵列(最小孔径5微米),7组有不同方向的线对(12 µm, 10 µm, 8 µm, 6 µm, 5 µm, 4 µm, and 3 µm) | 8 µm高金 | |
微纳CT分辨率测试模体 Spirit resolution | 球直径: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0mm < 1 μm to > 10 μm 体素尺寸CT应用 遵从 ASTM E1695-95 标准 | 红宝石 | |
纳米CT体素校准模体 Voxel-Spirit | 球直径: 0.3 mm 球距离: 0.45 mm (认证精度: 0.06 μm) <1 μm 体素CT应用 | 红宝石 | |
微纳CT转台摆动校正样品架 | 基准尺寸 [µm]: 25 25 50 100 适用于 Dual-Energy CT or 4D CT | 红宝石 |