公司介绍艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模拟体系为基础，立足于研发、设计、制造X射线核心器件及部件，致力于为工业及科研客户提供高效、可靠、先进的成套解决方案。主要产品包括微焦点X射线光源、X射线核心器件、X射线探测器、X射线仿真模拟软件，广泛应用于多种材料分析表征和基础研究场景，如新能源材料及器件表征、半导体制程检测、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研发、等离子体诊
公司介绍
艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模拟体系为基础，专注于研发、设计、制造X射线核心器件及部件，致力于为工业及科研客户提供高效、可靠、先进的成套解决方案。
主要产品包括微焦点X射线光源、X射线核心器件、X射线探测器、X射线仿真模拟软件，广泛应用于多种材料分析表征和基础研究场景，如新能源材料及器件表征、半导体制程检测、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研发、等离子体诊断等。
产品介绍
SpotLight-P 多毛细管微焦点X射线光源结合了低功率x射线源和多毛细管X光透镜，可提供高通量的X射线光束，广泛应用于先进的材料分析。SpotLight-P 可提供几种标准聚焦、微聚焦或准直光束配置，也可以针对特定应用进行定制。
特征优势
• 高性能光学整形组件：可输出高品质X射线光束
• 聚焦输出：最小可达8μm的输出焦点尺寸
• 准直输出：低至0.2°的输出发散角
• 灵活的输出光束选项：聚焦、准直、微聚焦三类选择
• X射线管耦合多毛细管可产生兼具高亮度和小焦点尺寸的线束
• 水冷散热，提高光管的安全性
• 内置X射线管的自动暖机/训机程序
• 内置目标功率的自动缓升缓降曲线
• 内置自动化安全关机功能
• 内置自检程序，确保设备的可靠性和操作的安全性
• 内置提高可靠性的故障报警和安全回路
规格参数
SpotLight-P光管通用参数
项目 | 指标 |
最高管电压 | ≤50KV |
最高管电流 | ≤1mA |
可选靶材 | Cu/Mo/Rh/Ag/W（其它靶材可讨论定制） |
冷却方式 | 风冷+水冷 |
光管尺寸（含毛细管调节装置） | 261mmx 186mmx 110mm |
重量（含毛细管和调节装置） | 10kg |
Mo靶聚焦型光源典型参数
工作距离（mm） | 10 | 60 | 150 | 200 |
聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, Mo-Kα） | 30 | 110 | 350 | 380 |
输出通量 （Mo-Kα, phs/s） | >2.7E7/s | >6.7E7/s | >7.6E7/s | >8.1 E7/s |
Mo靶准直型光源典型参数
输出光束直径 （mm） | 2mm | 5mm | 6mm | 10mm |
输出通量 （Mo-Kα, phs/s） | >6.6E6/s | >3.7E7/s | >4.7E7/s | >6.2E7/s |
Cu靶聚焦型光源典型参数
工作距离（mm） | 10 | 60 | 150 | 200 |
聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, Cu-Kα） | 50 | 250 | 450 | 620 |
输出通量 （Cu-Kα, phs/s） | >1.1E9/s | >5.4E9/s | >5.3E9/s | >5.3E9/s |
Cu靶准直型光源典型参数
输出光束直径 （mm） | 4mm | 6mm | 10mm |
输出通量 （Cu-Kα, phs/s） | >2.3E9/s | >4.8E9/s | >8.5E9/s |
典型应用
掠入射小角散射（GISAXS）
单晶/粉末X射线衍射、劳埃衍射(SC-XRD、XRPD、Laue Diffraction)
（二维、三维、共聚焦）微区X射线荧光（μ-XRF）
X射线激发发光（XEOL）
半导体解决方案应用场景
薄膜堆栈的金属层结构测量
UBM/RDL层厚和组分监测
埃米水平的超薄层测量
Bump球的高度测量
基于TXRF的硅晶圆表面沾污测量
基于XRR的膜厚测量
外延材料晶格结构及膜厚分析
芯片和电路板失效分析
芯片和电路板制程监控
原位透射衍射案例
 |  |  |
LiFePO4正极锂电池充放电过程中的 原位衍射（测量时长：300分钟） | NbS2正极钠电池充放电过程中的 原位衍射（测量时长：500分钟） | NaVO正极锌电池充放电过程中的 原位衍射（测量时长：460分钟） |
