Ø 关于RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE”)，配有多个专业的X射线实验室，作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。
随着EUV/XUV产业发展如火如荼，X射线各领域的研究也不断深入，RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外，RITE秉承着开放合作的理念，也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。
| RITE实验室 | EUV Replicated Optic |
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捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺，能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm，组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
超高表面精度和更低的表面粗糙度
平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru镀层的微观粗糙度:
面形误差精度
使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm，抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm
更高的反射率
对于光学复制技术的扩展，RITE可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)。
多箔光学镜(Multi-Foil Optics, MFO)非常适合软X射线、EUV波段和大视场的应用，由两组相互垂直的极薄反射镜组成，光子通过掠入射角进行反射。可根据客户要求快速定制开发多种形状1D或2D的MFO（如龙虾眼，Kirkptrick-Baez组等）。
复制镜典型参数：
• 光谱范围: EUV (60 – 200 eV)；软X射线（200-2000eV）；硬X射线 (2 – 10 KeV)
• 镜片面形: 椭球镜（点对点聚焦），抛物面镜（平行光束），也可根据需求定制其他面形
• 光学面材料: Au, Ni, Ru等
• R ≥50%
• 典型表层粗糙度: Ra≈1- 2 nm
• 典型尺寸: 直径D = 5 – 250 mm；长度L=10-140mm
成像几何
加工镜片示例：
性能展示
MFO多箔光学镜 (龙虾眼，KB镜组) -EUV/SXR大视场
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加工镜片示例
性能展示：
MFO椭圆 KB系统 | |
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焦点细节 |
 激光驱动氙气和氪气极紫外辐射的聚焦光斑强度分布。 |
几何构型 |
龙虾眼镜片 | |
能量范围5 - 10 keV 焦长: 1 000 - 1 200 mm 倍率: ~ 1:1 视场: 2° 聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm 外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm 口径: 18 x 18 mm 镀金镜片 镜片间距0.3 mm 镜片间自由空间 (前视): 56% |
聚焦细节(FWHM = 19 arcmin)，光源80µm， 8kev, MEDIPIX2探测器(CTU)。 |
水窗、极紫外显微
X射线光电子能谱
X射线显微成像
极紫外光刻
极紫外、X射线复制镜-datasheet（众星联恒2022.06.17）.pdf
参考用户
德国BESSY 光源
美国CYMER公司
德国哥廷根激光实验室
美国海军研究实验室
美国国家标准与技术研究院
美国加州大学
日本NTT
韩国LG
荷兰国家应用科学研究院
爱尔兰都柏林大学