13.5nm半透半反/分束镜
EUV 性能 波长: 13.5 nm 反射率: R ~ 30 % 透射率: T ~ 20 % 偏振: s-pol. 带宽 (FWHM): appr. 2 nm 入射角: 45 degrees 基底 分束器框架材料: Si (100)尺寸: 12.0±0.25 mm x 12.0±0.25 mm 厚度: 525±20 μm 窗口尺寸: 8±0.15 mm x 8±0.15 mm 薄膜材料: Si3
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EUV 性能
波长: 13.5 nm
反射率: R ~ 30 %
透射率: T ~ 20 %
偏振: s-pol.
带宽 (FWHM): appr. 2 nm
入射角: 45 degrees
基底
分束器框架材料: Si (100)
尺寸: 12.5±0.25 mm x 12.5±0.25 mm
厚度: 525±20 μm
窗口尺寸: 8±0.15 mm x 8±0.15 mm
薄膜材料: Si3N4
薄膜厚度: ~ 100 nm
镀膜
多层膜设计: Mo/Si