得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注，近10年的积累，对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术，至今已经给客户生产了近2万片镜片，中大多数都是半导体工业的客户，如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切，我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG，激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用，针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片，并在中国办公室备有库存，以实现镜片的快速交付。
激光驱动的等离子极紫外光源通常是4Π发散的，为了尽量多的收集13.5nm in band光子，通常需要足够大的收集立体角。我们可供大致700mm口径的Mo/Si多层膜收集。通过镜片可以承受极高的温度，对于被污染的收集镜子，我们可以提供翻新服务。
实测反射率曲线
高反
宽带
翻新前后反射率对比
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