反射式EUV测试图案

反射式EUV测试图案

可提供图案：线宽和缝宽80 nm以下。

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产品介绍：

· 反射型。

· 可提供图案：线宽和缝宽80 nm以下。其他图案还在研发中。

· 线上可以加工“缺口”，线之间可以加工“桥接”用于标记。

北京众星联恒科技有限公司

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· 由于设计灵活，所以性能更高，成本也更低。

· 正在开发50 nm及以下的线缝和缝宽图案。在有限条件下，可以提供图案分辨率样本。