公司介绍：
德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。
产品介绍：
由于材料中x射线的折射率略小于1，所以x射线透镜有一个双凹透镜原件，每个聚焦元的焦距都非常小。通过线性地对齐许多元件，焦距可以显著地减少到几厘米的范围。
沿光轴放置许多小透镜元件，使入射的x射线光束逐渐聚焦到一个微米级焦点上。使用90度交替排列的原件使用垂直方向和水平方向都可以实现聚焦。透镜元件的由SU-8光刻胶制成的，像聚合物在硅晶圆上。环氧树脂抗蚀剂SU-8过去常使用在平板印刷过程中，它主要由高灵敏度、高灵敏度、x射线透明，且化学性能好和机械稳定性的特点。目前透镜的X射线稳定性已经测试到了≈2 MJ/cm³。
优势：
光轴不发生改变
聚焦质量不会因长时间曝光而改变
易于安装
菲涅尔透镜可选
如果你需要CRL镜，请告诉我们
1. 光子能量（KEV）（单色）
2. 光源尺寸(V [µm]× H [µm], FWHM)
3. SD，光源到镜片中心距离（m）
4. WD, 工作距离，镜片中心到焦点距离（mm）
5. 光源和透镜间光学元件(虚拟光源，聚焦元件)的位置和和这些元件所在位置的光束尺寸。
6. 需要的聚焦光斑尺寸:(V [μm]× H [μm], FWHM)
7. 镜头中心到探测器平面的距离
参数：
适用能量范围宽(> 8 keV)
入口孔径:高达1500µm
聚焦尺寸：最小0.5 μm x 0.5 μm
透镜材料：SU-8 (epoxy resist)
聚焦案列：
| 硬X射线聚焦（标准CRL） | X射线透镜系统-焦距可变（变焦镜） |
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· 点/线聚焦 · 适用于高能应用>100KeV · 可用作准直透镜 | · 用户可通过可移动的聚焦元件来优化工作距离 · 手动或电动驱动 · 100 mm x 120 mm x 100 mm的小巧外形尺寸 |
多聚焦条件透镜系统（多焦点透镜） | 大口径、低吸收的X射线棱镜透镜 |
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· 为不同的设置而优化的镜头可以安装在一个镜头快中 · 最多可提供10x10透镜矩阵(在150µm物理孔径下) · 通过照亮整个光圈可在一个平面上的获得多个焦点 | · 聚焦案列： 12.4 keV, WD = 1.6 m Incident beam size: 1.5 mm x 1.5 mm Focus point size: 52 μm x 46 μm Delivery examples (SPring-8) BL13XU, BL43LXU |
MWKS-CRL镜 datasheet 2022.4.24.pdf