Ø 关于RITE
Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下简称“RITE”)，配有多个专业的X射线实验室，作为日本理学在欧洲的 X 射线光学镜片设计、开发和制造中心。
随着EUV/XUV产业发展如火如荼，X射线各领域的研究也不断深入，RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外，RITE秉承着开放合作的理念，也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。
| RITE实验室 | EUV Replicated Optic |
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捷克RITE基于其先进独特的复制技术 (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光学器件的研发设计，定制开发速度快，质量高，工艺水平全球领先。拥有专利技术的工艺，能够商业化生产直径达300mm、段长达250mm，组合拼接后可达1000mm的光学器件。通过复制技术制作的光学元件具有低重量、高表面精度(低斜率误差)和低表面粗糙度等特点。全反射镜的另一个有趣的特性是使用各种金属层作为涂层，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。
超高表面精度和更低的表面粗糙度
平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru镀层的微观粗糙度:
面形误差精度
使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm，抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm
更高的反射率
对于光学复制技术的扩展，RITE可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)。
多箔光学镜(Multi-Foil Optics, MFO)非常适合软X射线、EUV波段和大视场的应用，由两组相互垂直的极薄反射镜组成，光子通过掠入射角进行反射。可根据客户要求快速定制开发多种形状1D或2D的MFO（如龙虾眼，Kirkptrick-Baez组等）。