X射线深度光刻微加工技术：LIGA
LIGA 是德文的制版术Lithographie，电铸成形Galvanoformung 和注塑Abformung 的缩写。自20世纪80年代德国卡尔斯鲁厄原子核研究所为制造微喷嘴创立LIGA技术以来，对其感兴趣的国家日益增多，德、日、美相继投入巨资进行开发研究。该技术被认为是最有前途的三维微细加工方法，具有广阔的应用前景。与传统微细加工方法相比，用LIGA技术进行超微细加工有如下特点：
1.可制造有较大深宽比的微结构。
2.取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等。
3.可制作任意复杂图形结构，精度高。
4.可重复复制，符合工业上大批量生产要求，成本低。
德国卡尔斯鲁厄Karlsruhe是LIGA技术的发源地，来自Karlsruhe技术研究所与microworks GmbH的定制化高纵横比微结构。LIGA工艺制造的微结构聚合物和金属零件在x射线光学领域有着广泛的应用，包括在在科研机构和工业领域，尤其在光栅法X相衬成像领域。
Microworks
德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，能为广大科研用户提供高度定制化的透射光栅和高精度微结构方案，在光栅法相衬成像领域，具有很好的口碑。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其高纵横比和精度可以远低于1µm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。
产品特点：
高纵横比（>100）金属或聚合物
立角约90°的平行侧壁（1mm高的结构偏差~1μm
侧壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范围）
横向精度在数微米范围（数厘米距离下）
通过双次曝光可得到多种侧壁角度
主要应用：
X射线光栅 (Au ，Ni)
X射线棱镜(SU-8)
X射线狭缝/针孔(Au)
X射线准直器 (Au)
高级微结构零部件(Au)
