以创新为先导，聚焦EUV极紫外/X射线光学器件的研发- 捷克RITE
随着EUV/XUV产业及激光驱动X射线源研究的蓬勃发展，光刻和高分辨显微成像等应用对于极紫外、X射线光学元件提出了更高的需求，RITE掌握了先进独特的光学复制技术，可以提供高精度、高性能的EUV/X-RAY反射式光学镜片及解决方案。
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先进的复制技术及超光滑加工技术
根据X射线和物质作用的不同原理和机制，目前主流的X射线光学组件可以大致分为衍射、折射、吸收、反射四类。之前我们有对基于衍射的多层膜镜片做了简单介绍，有兴趣的可以戳这个链接：X射线多层膜在静态和超快X射线衍射中的应用。
▶ 超高表面精度和更低的表面粗糙度
平均粗糙度 Ra (nm) | 均方根 RMS (nm) | |
10 μm × 10 μm | 0.72 | 0.91 |
1 μm × 1 μm | 0.27 | 0.34 |
Ru镀层的微观粗糙度
面形误差精度
使用Taylor – Hobson轮廓仪测量,抛光前测得RMS (Δr) = 1.14 μm，抛光后测得RMS (Δr) = 0.109 μm!
▶ 更高的反射率
金 vs. 钌
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关于RITE
随着EUV/XUV产业发展如火如荼，X射线各领域的研究也不断深入，RITE专为这两大类应用提供性能优越的光学元件。凭借自身在X射线、极紫外光学领域多年的积累，除了承担母公司理学在EUV/XUV、软X射线、硬X射线等设备的研发 (R&D) 任务以外，RITE秉承着开放合作的理念，也直接向全球的工业客户、实验室科研用户提供标准或定制型EUV/X-RAY光学镜片和高分辨间接X射线探测器等。
RITE Laboratory
EUV Replicated Optic
▶ 极紫外、X射线复制镜
光谱范围: EUV (60 – 200 eV)；软X射线（200-2000eV）；硬X射线 (2 – 10 KeV)
镜片面形: 椭球镜（点对点聚焦），抛物面镜（平行光束），也可根据需求定制其他面形
光学面材料: Au, Ni, Ru等
R ≥50%
典型表层粗糙度: Ra≈1- 2 nm
典型尺寸: 直径D = 5 – 250 mm；长度L=10-140mm
成像几何
椭球面光学元件
Wolter la
抛物面光学元件
Wolter lb
各类复制镜
椭球镜, Au active surface, L-100mm
各种不同规格尺寸的复制镜
Wolter镜, Au active surface, L=100 mm
微反射镜
嵌套镜
椭球镜, Ni active surface, L＝100mm
优秀性能
150 μm圆光斑，水窗，镜长L = 60毫米，镀镍
300 μm圆光斑，
能量= 600 eV,
镜长L = 100 mm，镀镍
300 μm圆光斑，
能量= 100ev,
镜长 L = 100mm，镀金
对于光学复制技术的扩展，RITE可以设计和生产多箔光学镜片(MFO)。
•大视场：max ±60° •衬底：玻璃或硅 •开口孔径：3x3 mm - 300x300 mm •箔层厚度：30μm – 1 mm •表层材料: Au, Ni, Mo, Pt, W, ... |  |
加工镜片示例
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焦点细节 |
激光驱动氙气和氪气极紫外辐射的聚焦光斑强度分布。 |
几何构型 |
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| 聚焦细节(FWHM = 19 arcmin)，光源80µm，8kev, MEDIPIX2探测器(CTU)。 |
▶ 应用方向
水窗显微
X射线光电子能谱
X射线显微成像
天文
▶ 参考用户
德国BESSY 光源
美国CYMER公司
德国哥廷根激光实验室
美国海军研究实验室
美国国家标准与技术研究院
美国加州大学
日本NTT
韩国LG
荷兰国家应用科学研究院
爱尔兰都柏林大学
北京众星联恒科技有限公司作为捷克RITE公司中国区授权总代理商，为中国客户提供RITE所有产品的售前咨询，销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的EUV、X射线产品及解决方案。如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。