使用Mo靶x射线微焦源Iμs搭建实验室桌面掠入射广角X射线散射(GIWAXS)系统
2021-12-06 18:35:00
Kelsey
使用Mo靶x射线微焦源搭建
实验室桌面GIWAXS系统
斯洛伐克科学院物理研究所的研究员Karol Vegso博士和其学生Ashin Shaji博士搭建了首台实验室桌面掠入射广角X射线散射(GIWAXS)系统。该系统使用了德国Incoatec先进的Mo靶IuS x射线微焦源（左侧）E=17.45 keV以及光子计数型、像素化X射线探测器，中间是CVD腔体。
通过该系统可以观察到MoO3硫化过程中，MoO3到MoO2再到MoS2的转变过程。通过X射线衍射，化学气相沉积(CVD)室内的化学反应。
同时Karol Vegso还搭建一套桌面式GIWAXS系统用于测量数层过渡金属硫化物(TMD)的薄层测量，如二硫化钼(MoS2)或铂二硒化物(PtSe2)等非常有应用前景的半导体薄膜。
