XRF
2021-07-14 18:36:24
什么是 XRF
X 射线荧光 (XRF) 是一种强大的定量和定性分析工具，用于材料的元素分析。它非常适合测量薄膜厚度和成分，按固体和溶液的重量测定元素浓度，以及鉴定复杂样品基质中的特定元素和微量元素。XRF 分析广泛应用于半导体、电信、微电子、金属加工和精炼、食品、医药、化妆品、农业、塑料、橡胶、纺织品、燃料、化学品和环境分析等许多行业。该方法快速、准确、无损，几乎无需样品制备。
XRF 如何工作
当样品中的元素暴露于高强度 X 射线源时，荧光 X 射线将以这些元素特有的能级从样品发射。
所有 XRF 光谱仪的基本概念都是源、样品和检测系统。源照射样品，检测仪测量从样品发射的荧光辐射。在大多数情况下，XRF 的源是 X 射线管。替代方案是放射源或同步加速器。XRF 仪器主要有两种类型：能量色散 X 射线荧光 (EDXRF) 和波长色散 X 射线荧光 (WDXRF)。
X 射线光学透镜可用于增强这两种 XRF 仪器。对于常规 XRF 仪器，样品表面典型焦斑尺寸的直径范围从几百微米到几毫米不等。多毛细管聚焦光学透镜从发散 X 射线源收集 X 射线，并将它们引导至样品表面上形成直径小到几十微米的小聚焦光束。由此增加的强度以小焦斑传递到样品，可增强用于小特性分析的空间分辨率和用于微 X 射线荧光应用的微量元素测量性能。双曲面弯晶光学透镜将高强度微米级单色 X 射线束引导至样品表面，用于加强元素分析。
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